Actinometry 相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

Actinometry相关论文

介质阻挡放电氢等离子体中氢原子浓度的光谱诊断

在化学气相沉积功能材料等离子体刻蚀及表面处理等过程中，氢原子起着非常重要的作用。文章详细论述了利用发射光谱技术诊断氢原子的......

期刊

氢原子浓度内标法发射光谱介质阻挡放电等离子体诊断 Atomic hydrogen density Actinometry Optical emiss

看过本文同时还关注